VOCs廢氣處理的常用設備有活性炭吸附裝置、噴淋收集設備、低溫等離子處理設備、催化設備和濃縮Rto裝置。前三種是轉移法，后兩種是破壞。  活性炭吸附裝置目前市場常見，活性炭需要勤快更換，換了以后要做固廢處理，可以做到達標但是有自燃危險。噴淋收集設備適用范圍有限，經常是結合別的處理設備配套用，有造成二次污染。低溫等離子處理設備處理范圍廣，但容易引起二次污染。目前工程上有配合污水處理設備或其他設備進行二次處理。催化也稱rco，催化劑容易中毒,需對廢氣成分進行謹慎檢測與分析后考慮。濃縮Rto裝置在歐美日本采用普遍，是國內的未來趨勢，處理效率99%以上，但是初次投資相對高，適用于濃度高的工況，大風星低濃度可選擇濃縮rto，運行成本會相對低。